(c)2005 OMEC (Optical Metrology Company)
ステップ１ 材料定数の入力
1. 直接入力
2. 波長分散ファイル読み込みとグラフでの確認
ステップ2 解析対象選択
1. 1D
2. １Dコニカル
3. ２D
ステップ3 格子構造データ入力
「1D 解析画面例」
ステップ4 モード収束性の数値計算
「1D 計算結果出力画面例」
1. TE,TMモード回折効率の波長特性
2. TE,TMモード複素振幅の波長特性
1. グラフ表示
2. データファイル出力
多層膜格子形状に対応
「材料定数画面例」
1. モード収束性
2. 波長特性
1D解析画面(デモ版)
1. グラフ表示
2. データファイル出力
1. TE,TMモード回折効率の波長特性
2. TE,TMモード複素振幅の波長特性
ステップ5 波長特性の数値計算
