格子や微細化計測に必要な光波散乱解析用ソフトウェア開発を御援助致します。
電磁波・光解析経験豊富な開発者の作成する解析ソフトを、ご活用ください。
RCWAやFDTD法による光波散乱解析が自由にできます。
取り扱い品目
(1) カスタマイズド ソフトウェア
御社が必要とする光波解析ソフトを、カスタマイズして制作いたします。
Trench3D.rcwa 
2Dや3D(1D、1Dコニカル、2D周期)の多層膜構造周期構造からの反射光解析を、
RCWA法(Rigorous Coupling Wave Analysis:厳密結合波解析)で行います。
斜め入射にも対応しております。
Trench3D.fdtdp 
3次元の多層膜構造周期構造からの反射光解析を、FDTD(Finite Differnce Time
Domain:
時間領域差分)法で行います。
遠方パターン表示や斜め入射の解析もできます。
Trench2D.fdtdp.Gauss
2次元の多層膜孤立溝構造や、不規則周期溝からの反射光解析を、FDTD法で行います。
ガウスビーム入射で、ビームウェストのサイズや位置を変えて反射透過率を求めます。
WG3D.bpm
FDTD法では、解析領域が大きくなってしまう数百ミクロン長の導波路での光波伝搬特性を
BPM(Beam Propagation Method:ビーム伝搬法)で解析します。ここでは、FFT(Fast
Fourier Transform:光速フーリエ変換)やFD(Finite Difference:差分)を用いた3D
BPM解析を
行います。
EasyFDTD [FDTD学習キットと通信講座]
ご好評を頂いた企業向け講習での研修テキストの通信講座です。研修テキスト、
「FDTD法基礎マスター講座(C++言語ソースコード付)」を用います。ベクトル解析、
電磁界解析の基礎、1D、2D、3Dのリープフロッグ(馬跳び)アルゴリズムの概念、
吸収境界(BerengerのPML)、遠方界解析などのプログラムソースが理解できます。
出張講義も、お受けできます。
EasyRCWA [Scilabによる1D(TE,TM)RCWA教育ソフト] (近日発売:ソフトユーザー様限定)
フリーウェアで高機能の行列演算パッケージScilabを用いたRCWA教育ソフトです。
テキストとソースコードにより、RCWAの学習が容易に出来ます。
学習用ですが、多層構造の屈折率入力ができ十分実用的です。
入力屈折率分布や、反射・透過率がグラフで表示されます。
多言語(C++など)にも容易に書き換え可能です。
1D(2次元断面空間)のTE波とTM波に対応しています。
EasyBPM [ScilabによるBPM教育ソフト] (近日発売:ソフトユーザー様限定)
フリーウェアで高機能の行列演算パッケージScilabを用いたBPM教育ソフトです。
テキストとソースコードにより、BPMの学習が容易に出来ます。
(2) 各種電磁界法による光散乱解析の開発コンサルティング
RCWAによる散乱解析 2D、3D構造
FDTD法による散乱解析 2D、3D構造
BPMによる導波路解析 2D、3D構造
その他、当社オリジナル解析手法による散乱解析
(3) 光波散乱解析用必須文献データベース
種々の電磁界解析についての、必須文献データベース。
当社が調べ上げた文献を用いれば、各種解析ソフト開発時間が短縮されます。
当社独自の教育用、基本解析プログラムソースコードが付いております。

☆入力部パラメータと出力データは、カスタマイズが可能です。
御社の複素屈折率の波長データを取り込めます。
数値計算部は、偏光、入射角、波長、各層の高さ、溝幅など
パラメータを自由にふらす事が可能です。
☆GUI(グラフィカルユーザインターフェース)で、入力パラメータと
出力部データの扱いは、簡単になっています。
(c)2008 OMEC (Optical Metrology Consultant)
Trench3Dソフトウェアシリーズの特徴